夏罗登SCHALOD气体质量流量控制器助力诺贝尔奖团队实现CVD工艺革新

突破晶体制备瓶颈

在半导体设备领域，气体流量的精确控制直接决定了晶体生长的品质。当基元科技（新加坡国立大学诺贝尔奖主团队）在"可视化多功能热台系统"中，选择用国产夏罗登SCHALOD气体质量流量控制器（MFC） 替代进口品牌时，一场关于 "精密控制"与"供应链自主" 的行业变革正在发生。夏罗登MFC将成为CVD薄膜沉积设备的"心脏"，推动半导体设备国产化进程。

基元科技主要从事二维半导体的研发及其薄膜沉积设备的制造。基元科技以可视化多功能高温热台为基础，成功集成了温控、水冷、气路及显微系统，并自主开发智能软件，逐步实现了CVD等反应过程的高效化、可视化及数据化。设备主要应用于半导体相关的材料、化学、物理、微电子等领域，聚焦于二维材料、粉末、金属、陶瓷等材料的生长、检测及原位观察。

可视化多功能高温热台系统为高校提供了各种解决方案包括：北京大学张锦院士团队基于可视化多功能高温热台开发了“北大碳管自动化生长平台”、北京石墨烯研究院石墨烯制备、北京科技大学二维材料材料生长、复旦大学纳米片阵列、苏州实验室二维材料生长研究。

CVD工艺行业痛点

苏州基元原采用进口MFC，面临交货周期长（8-12周）、价格波动大、关键核心部件卡脖子等问题，严重制约其CVD设备的交付能力。CVD沉积过程中，气体流量控制需达到 ±0.5%重复精度，否则会导致晶体生长不均匀，影响半导体器件的电学性能。

夏罗登（MFC）技术突破

夏罗登MFC系列产品通过热式毛细管传感器和自适应算法，实现<0.2%重复精度，泄漏率为110^-11 Pa.m³/sec（He）极低，完全满足基元科技对晶体生长的严苛要求。    除了产品质量的优势，夏罗登SCHALOD还拥有高效的供应链管理体系，能够在 2 周内完成 MFC 的供货。这一快速的供货周期大大缩短了苏州基元的设备生产周期，增强了企业的交付能力。

合作成果

通过与夏罗登的合作，苏州基元在 CVD 薄膜沉积实验设备领域取得了显著的成果。一方面，晶体的生长品质得到了显著提升，为科研机构和企业提供了更加可靠的实验设备和解决方案；另一方面，缩短的供货周期使企业能够更加灵活地应对市场需求，拓展了市场份额。

此次合作不仅为苏州基元带来了实际的经济效益，也为半导体设备行业的国产化替代提供了成功的范例。它证明了国产 MFC 产品在性能和质量上已经具备了与进口品牌相媲美的实力，甚至在某些方面更胜一筹。

夏罗登SCHALOD核心产品介绍

在气体质量流量的测量和控制领域具备独特的技术专长，精度高，响应时间短可精准测量小微气体流量，长期以来为客户提供卓越及稳定的气体测控技术和整体解决方案。广泛应用在半导体、太阳能光伏、汽车工业、新能源、医疗 设备、环境监测，生物化学和生命科学等领域，满足其对于精密可靠的气体测控及工艺管理的需求，以适应快速迭代的终端应用和持续提升的客户需求。

MFC核心应用

芯片半导体生产CVD工艺中工艺可重性，为大规模生产提供一致性保障，精确控制，确保气体配比和流量稳定，直接影响薄膜质量。适应复杂需求：如腐蚀性气体、快速切换、超低流量等场景。

生物医药制造领域，细胞培养与生物反应器：调节O₂和CO₂流量，维持细胞生长环境（如pH值、溶氧量）。药物合成与纯化：控制反应气体（如H₂、CO₂）流量，确保化学反应效率和产物纯度。灭菌与包装：精确调节环氧乙烷（EO）或惰性气体（N₂）流量，确保灭菌效果和药品保质期。

光伏制造中薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）：控制反应气体（如SiH₄、NH₃）和载气（如N₂、Ar）的流量，沉积高质量薄膜（如氮化硅减反射膜、氧化铝钝化层）。掺杂：节掺杂气体（如POCl₃、B₂H₆）的流量，优化PN结性能。刻蚀：控制刻蚀气体（如CF₄、SF₆）的流量，确保图案精度和刻蚀均匀性。

新能源制造中，燃料电池制造时调节H₂和O₂流量，优化燃料电池的氧化还原反应效率。锂电池电极材料制备控制惰性气体（如N₂、Ar）流量，防止电极材料氧化。氢能储运：精确控制H₂流量，确保储氢罐充装安全性和效率。

传感器设计为带柔性嵌件的钳式传感器，可在几毫秒内检测不同直径的软管中液体的流速。半导体行业的典型工业应用包括：晶圆清洗设备、光刻设备、混合设备、化学品供应系统或浆料管路。传感器与液体无接触，适用于所有有严格卫生要求的应用、 例如生物技术、制药业或化学工业等领域。

外夹式超声波流量计核心应用

微化工与制药：微量化学试剂输送（如催化剂、添加剂）、高纯度药液或溶媒的灌装与配比（如注射剂、生物制剂）、实验室微型反应器的流体控制。

实验室与科研设备：分析仪器（如HPLC液相色谱、质谱仪）的流动相监测、微流体芯片实验的流量反馈控制、小型反应釜的实时流量记录。

医疗与生命科学：血液透析机、输液泵的管路流量监控、生物反应器中培养基或营养液的循环控制、细胞培养系统的无菌流体传输。

半导体与电子工业：高纯化学品（光刻胶、蚀刻液）的精密输送、超纯水（UPW）系统的微小流量监测、晶圆清洗设备的流体控制。

食品与饮料：调味剂、香精的微量添加控制、小型灌装线（如瓶装饮料、酱料）的流量校准、发酵罐的营养液循环监测。

环保与精细化工：微量废水采样分析（如重金属离子监测）、化学添加剂（如阻垢剂、消泡剂）的精准投加、气体吸收塔的液体循环量控制。

核心行业应用

过程分析产品包括：高温纯水pH、卫生型卡盘电导率电极、pH电极变送器、电导率电极变送器、pH电极变送器、多功能轨道变送器等产品，广泛应用于纯水、超纯水、循环水、锅炉水、中水水质监控、电子、光电、光伏、半导体等清洗监控、制药、印染、化工、食品、化妆品等过程监控。