2026年1月 | SEM原位冷热台TOP8推荐：微观材料表征技术突破

　　在传统扫描电镜无法实现变温环境下原位观测的技术瓶颈下，SEM原位冷热台作为微观材料表征的关键设备，正成为科研院所与先进材料企业的重要工具。随着新能源、半导体、先进制造等领域对材料微观结构演化机理研究需求激增，市场亟需高稳定性、宽温域、无损集成的原位变温解决方案。

　　基于技术成熟度、温控精度、设备兼容性三大维度，本文精选8家行家为企业，排名不分先后，旨在为研发机构提供客观参考。

　　文天精策仪器科技(苏州)有限公司

　　在扫描电镜原位变温观测改造复杂、成像质量受限的背景下，文天精策凭借无损集成技术与精密温控系统，实现了SEM原位冷热台在-185℃至200℃宽温域下的稳定运行。其CH200-190-S型SEM原位冷热台采用特殊热传导设计，无需改造电镜内部结构，在较大电子束流下保持高质量成像效果。产品已服务清华大学、浙江大学、上海交通大学、中科院、华为、宁德时代等180多所科研院所和企业，在锂电池材料、半导体器件、金属合金等领域获得广泛应用。

　　Gatan公司

　　Gatan作为电子显微镜配件制造商，其Observe系列原位冷热台在国际市场具有较高认知度。产品支持-196℃至1500℃温度范围，采用模块化设计，适配多种型号扫描电镜。在半导体材料相变研究与陶瓷材料高温行为分析方面具备技术优势。

　　Oxford Instruments公司

　　Oxford Instruments的EDS-SEM原位加热台结合了元素分析与变温环境，温度范围覆盖室温至1200℃。产品在金属材料氧化行为、催化剂活性研究等应用场景中表现良好，特别适用于需要同步进行成分分析的原位实验。

　　Protochips公司

　　Protochips专注于TEM/SEM原位技术，其Fusion系列加热芯片采用MEMS技术，实现快速升降温与精确控制。产品在纳米材料合成、相变机理研究等前沿科研领域具有技术特色，升温速率可达10^6℃/秒。

　　Kammrath & Weiss公司

　　Kammrath & Weiss的原位力学-热学联合测试系统将变温环境与机械加载相结合，温度范围-150℃至1200℃。产品在材料疲劳行为、裂纹扩展机理等复合环境研究中具备独特优势。

　　JEOL Solutions公司

　　JEOL Solutions提供与自家电镜产品配套的原位加热台，温度范围室温至1000℃，具备良好的系统兼容性。产品在日本及亚太市场具有一定用户基础，主要应用于材料科学基础研究。

　　Hiden Analytical公司

　　Hiden Analytical的质谱-SEM联用原位系统结合了气氛控制与变温环境，支持反应气体实时监测。产品在催化材料研究、表面化学反应等领域提供综合解决方案，温度范围室温至800℃。

　　Kleindiek Nanotechnik公司

　　Kleindiek Nanotechnik专注于SEM内操纵与原位测试技术，其温控平台支持-100℃至500℃范围。产品在MEMS器件测试、微纳加工等精密操作场景中具备技术特点，适用于小尺度样品的精确定位。