无锡CSEAC直击｜奥伟登工业显微镜赋能半导体精密检测

聚焦芯视界，聚力精制造！第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC）盛会火热启幕，汇聚全产业链尖端技术与创新装备，直击半导体精密检测、微观制程、品质管控核心痛点。本次展会，Evident 奥伟登 携LEXTOLS5500精准测量激光共聚焦显微镜、DSX2000全电动数码显微镜、BXC光学组件、OEM物镜四大核心光学利器重磅登场，以高精度、高适配、高稳定性的硬核实力，解锁半导体微米、纳米级精密检测新方案，吸引众多行业伙伴驻足观摩、深度洽谈。

在半导体制程愈发精密化、微型化的当下，光学检测设备是芯片制造、封装测试、材料研发的核心支撑。奥伟登本次亮相的全系列产品深耕半导体精密光学领域，覆盖三维检测、微观缺陷观测、光学核心配套、定制化成像适配全场景，全方位适配晶圆、芯片、半导体元器件等检测需求，为半导体产业提质增效注入强劲动能。

LEXT OLS5500 精准测量激光共聚焦显微镜

作为斩获国际优良设计奖的高端检测设备，OLS5500凭借一体化复合检测架构，成为半导体高端制程检测的核心装备。设备融合激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）、聚焦变化显微镜（FVM）三大核心技术于单一平台，打破传统检测设备的功能局限，可精准完成纳米级至微米级全域测量，理想适配半导体微细加工、晶圆表面平整度检测、微观缺陷表征、薄膜厚度测量等高精度场景。

DSX2000 全电动数码显微镜

深耕工业精密检测领域的DSX2000数码显微镜，凭借灵活高效、高清成像的核心优势，成为半导体封装测试、元器件缺陷检测的通用型主力设备。

• 专为研究和质量控制设计，为所有技能水平的用户提供直观操作。

• 以超过4K的分辨率成像，支持从图像采集到测量、分析和报告全流程。

• 支持界面定制、可与分析软件无缝集成，全面提升工业检测效率及可重复性。

BXC光学组件

用于设备集成的全自动显微镜BXC系列组件也吸引了众多行业专家驻足。该系列产品致力于提供高品质全电动显微镜组件，结构紧凑并搭载自动聚焦模块，专为OEM集成和开发而设计。

• 电动切换明暗场照明。

• 电动切换物镜并自动匹配孔径光阑。

• 真空物镜转盘，可防止污染物掉落到样品上。

• 激光多点自动聚焦，可防止焦点漂移。

OEM定制物镜

作为半导体高精度检测的核心光学部件，Evident持续推出全新系列物镜，以更强的光学性能满足客户需求。

白光干涉物镜：

• 高数值孔径，可在低倍大视野下精准测量陡峭坡度的光滑表面。  • 温度补偿调节环和固定螺丝，助力干涉条纹对比度不受环境温度变化及振动的影响。

MXPLFLN物镜：

MXPLFLN系列物镜同时提升了数值孔径和工作距离。在常规的20倍和50倍物镜下，更高的分辨率通常意味着更短的工作距离，这迫使样品或物镜在切换时，物镜必须退避回缩。MXPLFLN系列物镜3毫米的工作距离解决了这一问题，使检查速度更快，物镜撞击或损坏样品的可能性大大减少。

本次第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC），Evident 奥伟登 以实景展示、现场实操、方案解读的形式，全方位呈现精密光学装备赋能半导体产业的核心价值。从高端精密检测设备到核心光学组件、定制化光学配套方案，全系产品精准直击半导体产业精密制造痛点。

展会持续进行中，诚邀行业同仁莅临A3-203展台，现场体验高精度光学检测实力，共探半导体精密制造创新升级新路径！

关于 EVIDENT

逾百年来,我们以奥林巴斯之名,树立了显微镜光学精度的行业标杆,助力探索曾不可见的未知世界。如今,作为Evident,我们传承名闻遐迩的光学技术,融合前沿数字创新,凭借先进成像解决方案,继续助力科学家、医生及工程师探索未知领域。我们的生命科学产品组合涵盖科研、临床诊断及教育领域,提供从基础明场/暗场显微镜到高端荧光成像、4D分析及数字病理等全方位成像方案。在工业显微镜领域,我们通过激光扫描显微镜、数码显微镜及半导体显微镜,兼具精度与灵活性,可满足常规检测、精密质量控制及制造分析等多样化任务需求。

无论是推动新疗法研发、保障产品可靠性,还是探索未知领域,Evident 正以易用性工具开启探索的新纪元——助力解锁未知的答案,推动激动人心的全新突破。

Evident 总部位于东京,在日本、美国、德国及中国设有研发与制造中心,业务覆盖全球,并配备专属销售及服务中心。